экспонированная линейная шкалапредназначен для станков и систем, требующих высокоточного измерения, и устраняет погрешность и обратную погрешность, вызванную температурными характеристиками и характеристиками движения ШВП.
Применимые отрасли:
Измерительное и производственное оборудование для полупроводниковой промышленности
Машина для сборки печатных плат
Прецизионный станок
Высокоточный станок
Измерительные машины и компараторы, измерительные микроскопы и др.прецизионное измерительное оборудование
Применение и внедрение серийных продуктов:
Считывающая головка с линейной решеткой серии LS40 адаптирована к ультратонкой шкале из нержавеющей стали серии M4 с шагом решетки 40 мкм.Применение сканирования по одному полю и обработки подразделения с малой задержкой обеспечивает превосходные динамические характеристики.
Линейная решетчатая шкала серии RU представляет собой инкрементальную решетчатую шкалу с шагом 20 мкм, предназначенную для обеспечения обратной связи для высокоточных линейных измерений.Он использует передовую технологию маркировки линий интерференционной решетки, а погрешность линии решетки контролируется ниже 40 нм.При этом используются высокопрочные, устойчивые к коррозии специальные материалы.Материал из нержавеющей стали обеспечивает долгосрочное и стабильное использование.
Инкрементные считывающие головки серии RX оснащены усовершенствованным оптическим датчиком нулевого положения RH Optics.Он использует самую передовую технологию сканирования одного поля с нулевой точкой, усовершенствованную технологию автоматического усиления и автоматической коррекции отклонения Handing Optical.Он имеет низкую электронную ошибку деления, высокую защиту от загрязнения и совместим с линейными решетками и кольцевыми решетками.
Механическая структура:
Выставленный линейный масштабвключает в себя стальную ленточную шкалу и бесконтактную считывающую головку.Шкала стальной ленты открытой шкалы линейной решетки непосредственно фиксируется на монтажной поверхности, поэтому плоскостность монтажной поверхности влияет на точность шкалы линейной решетки.
Время публикации: 16 февраля 2023 г.
